This machine is made up of several interconnected subunits.

subunits 是由前缀 sub-（表示"在...之下"或"次要的"）和名词 unit（单元）组成的复合名词，指"子单元"或"次级单元"。前缀 sub- 在这里表示这些单元是构成更大整体的一部分。