Modern semiconductor production relies heavily on photolithography to transfer precise circuit patterns.

photolithography 是由三个希腊词根组成的复合词： photo- 表示"光"（来自希腊语phos） litho- 表示"石头"或"刻印"（来自希腊语lithos） -graphy 表示"书写"或"记录"（来自希腊语graphein） 组合起来字面意思是"用光进行刻印书写"，在半导体领域特指"光刻技术"，即利用光学方法将电路图案精确转移到硅片上的工艺。